兆晟SuperSizer 揪出奈米殺手粒子
過去幾十年，半導體技術快速發展，7奈米製程技術為目前高階技術的主流，5奈米技術也預計今年中實現，兩年後更可能進步到3奈米。
半導體越做越小，製程也越來越複雜，產業面臨到很多以前不存在的嚴峻挑戰，嚴重影響良率；如：在製程中矽晶圓經過多種高純度、高潔淨度的化學藥水處理，藥水內的奈米粒子不純物，原本不影響製程良率，現在因為元件持續縮小，這些奈米粒子已變成造成良率損耗的「殺手粒子」，但業界還沒有良好的改善對策。
兆晟奈米科技總經理吳伯仁表示，這個議題可以想像如同患有深度近視的駕駛，未戴眼鏡馳騁於馬路上的危險場景，無法完全避免意外的良率損失發生。目前業界主要的粒子監控技術是利用雷射光直接照射製程溶液，透過光束於粒子散射訊號進行粒子大小與數量的量測；此種量測方式的原理及機構較簡單，但是實際上，090-3071-871陳r奈米粒子範圍已面臨無法突破的物理極限。現有量測技術在數量量測上，會受到液體流動時產生的奈米氣泡干擾，容易造成計數的不準確。粒子大小量測方面，設備雖號稱可量到20奈米，實際上因光學訊號過低，只勉強可量到40奈米，完全不敷先進製程所需。
兆晟奈米科技由量測儀器大廠致茂電子與工研院量測發展中心共同成立，該中心在奈米粒子監控有突破性進展，兆晟則在2018年進駐新竹科學園區。吳伯仁表示，兆晟提供半導體廠一副「如鷹眼般的眼鏡」，以前製程液態環境中無法看到的的奈米殺手粒子，可以清楚看到，可以在晶圓未受到殺手粒子傷害前，預先採取適當的防治措施，避免良率損耗。
能有這樣的「鷹眼」，半導體廠在先進製程的良率改善將如虎添翼。經多年研發，兆晟團隊突破量測的限制，開發出創新的SuperSizer奈米粒子量測技術，完全不受奈米氣泡的干擾，並大幅改善小粒子的偵測效率，可以精準量測3奈米以上的粒子大小及數量分布。初步與國際半導體大廠合作，得到良好的成效。
兆晟團隊承接量測中心在奈米粒子監控的突破性技術，以及致茂電子30多年來專注於量測儀器研發、製造與在半導體產業的應用經驗，將持續提供新一代精準、可靠的SuperSizer「化學溶液中奈米粒子監測系統」，協助半導體製造廠及供應鏈改善先進製程的製程良率。同時也將此精準的奈米粒子監控技術，推廣到光電、食品及製藥業等領域。
攜手電子界醫生 拚當下個漢微科
新創檢測公司兆晟奈米公司名稱大有來頭，是由致茂董事長黃欽明替公司定名，期盼該公司能與「電子界醫生」致茂產生一加一大於二的效益，在半導體前段製程的檢測發揮實力。
兆晟奈米獲工研院技轉後，掌握能檢測半導體製程中20奈米以下，甚至7奈米、3奈米監控超細微粒的技術，該團隊認為這項技術如同百年前虎克發明顯微鏡、讓醫生能分辨細菌種類，進而能讓客戶對症下藥，改善生產品質。甚至被工研院量測中心封為「下一個漢微科」。
據了解，該公司名稱是由黃欽明醞釀約一周親自敲定，並確定大舉投資，主要考量以往致茂在半導體檢測著重後段製程為主，兆晟奈米將延伸至前段檢測應用的產業地位，雙方能發揮一加一大於二效益。
由於過往半導體製程20奈米以下的超細微粒監控屬於空白地帶，大廠主要靠經驗法則判斷，在盲目狀態之下，透過舊的方式來找問題，一旦運用兆晟奈米技術，將能突破瞎子摸象的瓶頸，不過，半導體製程對全新的工具，也需要一段重新學習的時間。
兆晟奈米總經理吳伯仁舉例，就像新推出LED燈不錯，但對市場既有還在使用普通鎢絲燈的用戶，如何說服汰換，就是一門學問，畢竟全新的東西，在沒有歷史數據可以證實情況下，需要一段時間推廣。
兆晟奈米技術長何信佳說，過往半導體廠採用經驗法則判斷，累積大量數據，如今採用新的檢測技術、全新工具產生新的數據，也需要與舊數據進一步比對結合，半導體製程也將能因此創新。
致茂投資兆晟與工研院簽約技轉
由致茂電子投資的兆晟奈米科技於24日與工業技術研究院進行「奈米粒子監控技術」轉移簽約儀式。工研院並將成為兆晟奈米科技的重要股東。兆晟奈米科技已於日前獲准進入新竹科學園區，發展、製造半導體先進製程所使用溶液的奈米粒子監測系統，有效協助提升半導體製程良率。
半導體製程中常用到大量溶液，進行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨著半導體製程從20奈米、10奈米乃至7奈米，電晶體縮小會使電流通道的寬度越窄。故製作過程中只要溶液出現一絲雜質--殺手級的奈米粒子，就會影響產品良率。目前現有的光散射粒子量測技術在20奈米以下已難以精準偵測溶液中粒子的大小、數量，090-3071-871陳r導致半導體製程良率難以控管。兆晟奈米將提供半導體廠一副「鷹眼」般的眼鏡：「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」，可準確偵測製程液態環境中5奈米以上粒子的大小與分布情形，使廠商得以採取必要的措施改善製程提升良率。此技術除應用於半導體先進製程，亦可應用在電子、光電、生醫材料等領域。
兆晟奈米科技將結合致茂集團營運據點及行銷通路，拓展全球市場。致茂電子為精密電子量測儀器、自動化測試系統、智慧製造系統與全方位Turnkey測試及自動化解決方案領導廠商，在半導體測試領域已具備多項後端製程精密量測產品線，兆晟奈米科技的加入將成為致茂集團提供半導體前端製程檢測解決方案的供應商，滿足半導體製程更完整的檢測需求。
公司簡介
「兆晟奈米科技」由國際級致茂集團支持工研院技術團隊而新創。團隊擁有國家級度量衡科研能力，開發之產品專用於檢測半導體前段製程使用溶液中之奈米微粒，精密等級滿足最新半導體製程需求，無替代性產品可匹敵。
2015年入選R&D100全球百大科技，2017年機台獲最大半導體終端用戶驗證通過。
「兆晟奈米科技」結合工研院前瞻技術提高競爭障礙，利用致茂集團全球管道布局拓商，矢志成為全球半導體前段製程設備利基市場中的小金雞。
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